5月12日晚,晶瑞股份公告称,截至目前,该项目一期年产3万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目,已完成项目备案、环境影响评价批复等程序。项目全部工程已建设完工,项目所需设备已购置并安装、调试完毕,运行稳定。
该项目由晶瑞股份的子公司江苏阳恒化工有限公司(下称江苏阳恒)具体负责。
晶瑞股份表示,经近期试生产调试,其半导体级高纯硫酸产品金属杂质含量低于10ppt,达到G5级水平,品质已达全球同行业第一梯队水平,产品技术指标可以履盖目前全部先进集成电路技术节点的要求。
高纯硫酸是半导体工业的重要化学试剂之一。长期以来,半导体级高纯硫酸一直被巴斯夫等国际大厂垄断。
晶瑞股份称,该项目的建成意义重大,意味着中国拥有了国际水平国内规模最大的半导体级电子硫酸基地,成体系地解决了中国集成电路用量最大的三种高纯试剂材料的国产替代,成为国家核心竞争力的一部分。
据晶瑞股份介绍,去年6月,其启动了年产9万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目。
该项目由子公司江苏阳恒使用自筹资金投资建设,项目总投资为3.52亿元,其中一期建设项目投资额为1.87亿元。